物理气相沉积为什么要在真空的条件

物理气相沉积是通过蒸发，电离或溅射等过程，产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方法有真空镀，真空溅射和离子镀三种金属加热至蒸发温度。然后蒸汽从真空室转移，在低温零件上凝结。该工艺在为何真空中进行，主要是金属蒸汽到达表面时因为真空而不会氧化。