物理气相沉积与化学气相沉积的成本比较，哪位达人清楚？

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CVD和PCD都包含很多种制备方法,各种制备方法制备得到的膜的结构和性能都不大相同...不过一般CVD得到的膜比PVD的稳定,要好一些,但是PVD生长膜比较快...

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